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产品介绍

电子级氢氟酸

 

分子式:HF-H20

理化性质:相 对分子质量:20.01,为无色透明液体,呈弱酸性,有强烈的刺激性气味,强腐蚀。浓度50%的氢氟酸密度为1.157g/ml,在大气压下沸点为 107℃,冰点为-46.3℃,常温下比热3.1J/g℃,18℃时,当量电导率为17.32Ω-1cm-1。与金属盐、氧化物和氢氧化物作用产生氢化 盐,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。

产品质量标准(Q/KAIHN01-2009)

级别 UP-S级 UP级 EL级
项目ITEM 单位UNIT 指标 指标 指标
含量ASSAY % 49%±0.2 49%±0.2 49%±0.2
氟硅酸(H2SiF6) mg/L ≤100 ≤100 ≤100
氧化物(CL) mg/L ≤5 ≤5 ≤5
硝酸盐(NO3) mg/L ≤3 ≤3 ≤3
磷酸盐(PO4) mg/L ≤1 ≤1 ≤1
硫酸盐和亚硫酸盐 mg/L ≤5 ≤5 ≤5
色度COLOR HAZEN ≤10 ≤10 ≤10
颗粒(≥1.0μm) Ea/ml ≤10 ≤25 ≤25
砷As PPB ≤1 ≤10 ≤100
锂Li PPB ≤1 ≤10 ≤100
钠Na PPB ≤1 ≤10 ≤100
镁Mg PPB ≤1 ≤10 ≤100
铝Al PPB ≤1 ≤10 ≤100
钾K PPB ≤1 ≤10 ≤100
钙Ca PPB ≤1 ≤10 ≤100
铬Cr PPB ≤1 ≤10 ≤100
铁Fe PPB ≤1 ≤10 ≤100
钴Co PPB ≤1 ≤10 ≤100
镍Ni PPB ≤1 ≤10 ≤100
铜Cu PPB ≤1 ≤10 ≤100
锌Zn PPB ≤1 ≤10 ≤100
镓Ga PPB ≤1 ≤10 ≤100
钼Mo PPB ≤1 ≤10 ≤100
银Ag PPB ≤1 ≤10 ≤100
镉Cd PPB ≤1 ≤10 ≤100
锡Sn PPB ≤1 ≤10 ≤100
钡Ba PPB ≤1 ≤10 ≤100
铂Pt PPB ≤1 ≤10 ≤100
金Au PPB ≤1 ≤10 ≤100
锰Mn PPB ≤1 ≤10 ≤100
铅Pb PPB ≤1 ≤10 ≤100
铊Ti PPB ≤1 ≤10 ≤100
铍Be PPB ≤1 ≤10 ≤100
硼B PPB ≤1 ≤10 ≤100
矾V PPB ≤1 ≤10 ≤100
锗Ge PPB ≤1 ≤10 ≤100
锶Sr PPB ≤1 ≤10 ≤100
锆Zr PPB ≤1 ≤10 ≤100
铋Bi PPB ≤1 ≤10 ≤100
锑Sb PPB ≤1 ≤10 ≤100

产品用途:主要用于集成电路工业中芯片清洗与腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关键化学品之一;也用于液晶显示器(TFT-LCD)行业中对玻璃基板、氮化硅、二氧化硅蚀剂、二氧化硅蚀刻;还用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀剂。

包装规格:1000L IBC集装桶;200L桶;20L桶;5L加仑桶

贮藏和运输:运输过程中避免撞击,防止阳光直射,储存于阴凉、通风仓库,保持容器密封。


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